Спектроскопия рассеяния медленных ионов

ОГЛАВЛЕНИЕ

    • Введение.
    • Теоретические основы.
    • Элементы теории ионного распыления поверхности. Классификация механизмов распыления.
    • Теория распыления путем каскадов атомных столкновений.
    • Модели теплового пика.
    • Неравновесные концепции теплового пика.
    • Концепция термического пика цилиндрической формы.
    • Расчет коэффициента термического испарения.
    • Энергетические распределения вторичных атомов (ЭРВА) в режиме тепловых пиков.
    • Теории ионизации и возбуждения атомов в ионной спектроскопии.
    • Классификация процессов ионообразования.
    • Микропроцессы, ответственные за ионообразование.
    • Типы возможных взаимодействий в каждой из областей.
    • Микропроцессы ионообразования.
    • Микропроцессы в области Б (на поверхности).
    • Взаимодействие атома с поверхностью и микропроцессы в области В (приповерхностная область вакуума)
    • Микропроцессы в области Г.
    • Ионизации вторичных атомов в условиях распыления за счет каскадов атомных столкновений.
    • Образования вторичных ионов при разрыве связей (Модель разрыва связей)
    • Термодинамическое описание процессов ионизации и возбуждения.
    • ЛИТЕРАТУРА.

Введение
В основе методов ионной спектроскопии поверхности (спектроскопия рассеяния ионов низких энергий (РИНЭ), ионно-нейтрализационная спектроскопия (ИНС), вторичная ионная масс-спектрометрия (ВИМС), ионно-фотонная спектрометрия (ИФС) и др.) лежат процессы, протекающие при взаимодействии ускоренных атомов и ионов с поверхностью и приповерхностными слоями твердого тела. Процессы эти столь разнообразны и сложны, что вряд ли может быть создана теория, которая с единых позиций опишет их в совокупности.

К настоящему времени разработан ряд теорий, каждая из которых в той или иной мере описывает отдельный процесс или ограниченную группу процессов. В настоящем модуле рассматриваются основные положения и выводы  некоторых общепризнанных теорий, без которых вообще не могли возникнуть методы ионной спектроскопии.

Скачать файл